Diffusion of Zinc in InxCa1—xAs,InP and GaAs

来源 :半导体光子学与技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：guojade_2009

【摘要】

：

Zinc has been diffused into n-type InxGa1-xAs,InP and GaAs in closed am-poules,and the experimental data for InxGa1-xAs rarely reported previously have been ob-

【作者】

：

ZHUANGWanru ZOUZhengzhong 等

【机构】

：

InstituteofSemiconductors

【出处】

：

半导体光子学与技术：英文版

【发表日期】

：

1996年1期

【关键词】

：

GAAS OEIC 集成光学锌扩散半导体器件 OEIC Integrated Optics Semiconductor Device Technolog

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Zinc has been diffused into n-type InxGa1-xAs,InP and GaAs in closed am-poules,and the experimental data for InxGa1-xAs rarely reported previously have been ob-tained,Theoretically the linear relationsip between logarithmic diffusion coefficient lnD and t

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