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采用了一种凸形轴承结构的硅基微晃动马达,它具有工艺简单,与IC工艺完全兼容,还具有摩擦力矩小,大大地减少了转子的摩擦阻力,实现了电启动,最小启动电压45V,最小维持电压25V,维持晃动的最低脉冲激励频率50Hz,最高转速600rpm,转速0~600rpm连续可调,转动平稳,无抖动,寿命达几小时。