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来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
利用等离子体增强热丝化学气相沉积系统在沉积有过渡层Ta和催化剂层NiFe的Si衬底上制备出准直碳纳米管,并用扫描电子显微镜研究了它们的生长和结构,结果表明真空度对其生长和
【作 者】
:
徐幸梓
王必本
张兵
刘天模
【机 构】
:
重庆大学材料科学与工程学院,北京工业大学应用数理学院
【出 处】
:
功能材料与器件学报
【发表日期】
:
2003年4期
【关键词】
:
准直碳纳米管
辉光放电
真空度
晶体生长
等离子体增强热丝化学气相沉积系统
aligned carbon nanotubes glow discharge va
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