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由于金属－半导体－金属光电探测器潜在的优点，用于光通信、高速片到片互连、以及光控受到极大关注，文中介绍这种光探测器及其与放大器单片集成的最新进展。
MSM光电探测器研究现状
【摘 要】
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由于金属－半导体－金属光电探测器潜在的优点，用于光通信、高速片到片互连、以及光控受到极大关注，文中介绍这种光探测器及其与放大器单片集成的最新进展。
【机 构】
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重庆光电技术研究所
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1994年3期
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