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本文针对重掺硼直拉单晶硅片中流动图形缺陷（FPDs）的显示进行了一系列实验，得到了一种能够腐蚀出重掺硼硅片中FPDs的Secco腐蚀液配方以及清晰显示出FPDs的最佳腐蚀时间。此外，本文就FPD的显示机理进行了探讨。
重掺硼直拉硅片中流动图形缺陷的显示
【摘 要】
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本文针对重掺硼直拉单晶硅片中流动图形缺陷（FPDs）的显示进行了一系列实验，得到了一种能够腐蚀出重掺硼硅片中FPDs的Secco腐蚀液配方以及清晰显示出FPDs的最佳腐蚀时间。此外，本
【机 构】
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浙江大学硅材料科学国家重点实验室
【出 处】
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材料科学与工程学报
【发表日期】
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2006年2期
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