【摘 要】
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二次离子质谱(SIMS)作为质谱学领域中的一个分支已经越来越占有重要的地位,国外不少学者在溅射机理、仪器及其分析方法等进行了大量研究工作,不断有SIMS的专著问世。过去虽
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二次离子质谱(SIMS)作为质谱学领域中的一个分支已经越来越占有重要的地位,国外不少学者在溅射机理、仪器及其分析方法等进行了大量研究工作,不断有SIMS的专著问世。过去虽然我们也研制过SIMS仪器,但除了对此种仪器较之电子探针、俄歇谱仪具有极高的检测灵敏度这一
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