聚焦光系统的X衍射仪对薄膜样品的掠入射衍射研究

• 作 者: 汤云晖 王波
• 机 构: 北京工业大学材料科学与工程学院
• 出 处: 实验技术与管理
• 发表日期: 2020年1期
• 关键词: 薄膜 X衍射仪 掠入射 聚焦光系统 thin filmgrazing incidence X-ray diffractiongrazing incidencef
• 基金项目: 国家自然科学基金项目(51571003)支持.

采用常规的聚焦光源衍射仪—岛津XRD-7000型,设定θ轴为固定轴、2θ轴为转动轴进行掠入射测量。实验发现,采用常规衍射仪进行掠入射X衍射,操作方便、衍射强度高于平行光源的专用掠入射衍射仪;除了表层物相的粒度外,同样可以得到物相、晶胞参数等精确信息。其独特之处在于可以区分表层和非表层的物相,尤其是对挨得很近、难以分开的两个物相。该方法适于掠入射角<2°的超表面物相分析。