基于氧化石墨烯的ST-cut声表面波高性能湿度传感器

• 作 者: 蒋媛媛 王金龙 龙宫頔 郭袁俊
• 机 构: 电子科技大学电子科学与工程学院,电子科技大学物理学院
• 出 处: 实验技术与管理
• 发表日期: 2020年1期
• 关键词: 湿度传感器 声表面波 氧化石墨烯 ST-cut石英基底 humidity sensorsurface acoustic wavegraphene oxideST
• 基金项目: 中央大学基础研究基金项目(A03018023801119).

开发了氧化石墨烯(GO)涂覆的ST-cut石英声表面波(SAW)湿度传感器。SEM和FTIR研究发现GO表面呈现起伏褶皱状且含有亲水性基团,这有利于薄膜对水分子的吸附;还发现SAW湿度传感器的频移响应由质量负载效应提供,且高湿度下传感器频移的指数增加归因于水凝结引起的阻尼效应。该传感器具有良好的灵敏度、几乎为零的温度系数、稳定的短期重复性与长期稳定性,且成本低,为湿度传感的研究提供了较好的选择。