【摘 要】
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本文叙述了用椭园偏振法测定透明薄膜厚度和折射率的原理,提供了一个计算程序。实验结果表明:折射率和厚度的测量误差分别小于0.5%和10A。
This paper describes the princi
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本文叙述了用椭园偏振法测定透明薄膜厚度和折射率的原理,提供了一个计算程序。实验结果表明:折射率和厚度的测量误差分别小于0.5%和10A。
This paper describes the principle of determining the thickness and refractive index of transparent films by ellipsometry and provides a calculation program. The experimental results show that the measurement error of refractive index and thickness are less than 0.5% and 10A, respectively.
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