用Columnar模型对电子空穴对复合逃逸产额的模拟计算

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:seedvs18606
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用一种比较简单的 Jaffe近似方法计算了质子在 Si O2 中的电子空穴对的逃逸率 ,讨论了辐照偏置、电场、质子入射角度、质子能量等对逃逸产额的影响 .得到了电子空穴对复合逃逸率与质子能量、电场成正比的结果 .计算结果与实验结果的比较 ,说明了 Jaffe近似方法可以比较正确地描述质子在二氧化硅中的总剂量效应 . The escape rate of electron-hole pairs of protons in Si O2 was calculated by a relatively simple Jaffe approximation. The effects of bias, electric field, proton incident angle and proton energy on the escape yields were discussed. The electron-hole recombination escape rate is proportional to the proton energy and the electric field.The comparison between the calculated and experimental results shows that Jaffe’s approximation can describe the total dose effect of proton in silica more accurately.
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