硅漂移探测器工艺的改进

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硅漂移探测器(SDD,Silicon Drift Detector)早期叫硅漂移室探测器Silicon Drift Chamber(SDC),是在高纯n型硅片的射线入射面制备一大面积均匀的pn结,在另外一面的中央制备一个点状的n型阳极,在阳极的周围是许多同心的p型漂移电极。 Silicon Drift Detector (SDD) Early called Silicon Drift Chamber (SDC) silicon drift chamber detector (SDC), is a high purity n-type silicon wafer incident surface preparation of a large area uniform pn junction, on the other side The center prepares a dotted n-type anode around which many concentric p-type drift electrodes are formed.
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