【摘 要】
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1.引言 在真空系统中,利用钛膜对活性气体进行排气的钛升华泵,操作简便,造价低廉,是一种具有较大抽速,无油污染的泵。因此被广泛地应用。就其应用范围来说,是所有需要清洁的
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1.引言 在真空系统中,利用钛膜对活性气体进行排气的钛升华泵,操作简便,造价低廉,是一种具有较大抽速,无油污染的泵。因此被广泛地应用。就其应用范围来说,是所有需要清洁的超高真空的装置,不论是蒸镀装置、电子显微镜、加速器、核聚变实验装置,还是空间模拟的排气系统都可使用
1. Introduction In a vacuum system, a titanium sublimation pump that uses a titanium membrane to purify an active gas is easy to operate and inexpensive to manufacture. It is a pump with a large pumping speed and no oil pollution. Therefore, it is widely used. As far as its application is concerned, it is an all-in-one vacuum device that needs to be cleaned, whether it is a vapor deposition device, an electron microscope, an accelerator, a nuclear fusion experiment device, or a space simulation exhaust system
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