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介绍了磁场强度在磁控溅射工艺中的作用,根据美国Airco公司镀膜生产线的实践经验,详细论述了如何通过调整靶材磁场强度,提高靶材的利用率.
调整磁场强度分布 提高靶材利用率
【摘 要】
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介绍了磁场强度在磁控溅射工艺中的作用,根据美国Airco公司镀膜生产线的实践经验,详细论述了如何通过调整靶材磁场强度,提高靶材的利用率.
【机 构】
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洛玻集团晶润镀膜玻璃有限公司洛阳市471000,中北玻璃工业公司北京市100044
【出 处】
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玻璃
【发表日期】
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2003年3期
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