【摘 要】
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过去,极紫外波段干涉仪用反射光学系统,而这次用透过型多层膜光学元件组成马赫策德干涉仪,进行了干涉仪的评价以及激光等离子体中电子密度分布的测量。在石英基板上用Mo(2.3
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过去,极紫外波段干涉仪用反射光学系统,而这次用透过型多层膜光学元件组成马赫策德干涉仪,进行了干涉仪的评价以及激光等离子体中电子密度分布的测量。在石英基板上用Mo(2.39nm)和Si(5.59nm)交替蒸镀30层膜的反射镜,在15.5nm的波长下反射率为 60±5％。在硅基板上涂敷100nm厚的氮化硅,蒸镀8～12层Mo和Si后,在硅
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