快速定向扩散法CVD碳/碳复合材料艺研究

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设计了一种快速制备碳/碳(简称C/C)复合材料的新工艺,借助于炉内沉积室中的定向扩散装置,并通过沿试样坯体厚度方向上的压力差,在合适的工艺参数条件下,沉积气体能快速而定向地扩散到试样坯体内部进行沉积。在对新工艺原理进行分析的基础上,运用正交设计试验法,探索了沉积温度、炉压、气体流量等工艺参数对试样沉积速度和密度的影响,确定了最佳工艺方案和稳定可靠的工艺参数。实验结果表明:用新工艺方法──快速定向扩散法化学气相沉积(CVD)C/C复合材料周期短、成本低,效率高。 A new process for rapid preparation of carbon / carbon composite (C / C) composites has been designed by means of directional diffusion in a furnace deposition chamber and by the pressure difference along the thickness of the sample blank, Under process parameters, the deposition gas can rapidly and directionally diffuse into the interior of the sample blank for deposition. Based on the analysis of the new process principle, orthogonal design test method was used to explore the effects of process parameters such as deposition temperature, furnace pressure and gas flow rate on the deposition rate and density of the sample, and the optimum process scheme was determined and stable and reliable Process parameters. The experimental results show that the CVD C / C composites have short cycle, low cost and high efficiency with the new process method - rapid directional diffusion CVD.
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