【摘 要】
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采用物理气相沉积方法在RAINBOW结构的反铁电陶瓷上沉积了形状记忆合金膜。用扫描电镜对膜层进行分析显示,形状记忆合金膜与RAINBOW反铁电陶瓷的还原层形成了良好的结合界面
【机 构】
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南京航空航天大学智能材料与结构航空科技重点实验室,南京航空航天大学无人机研究院,
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采用物理气相沉积方法在RAINBOW结构的反铁电陶瓷上沉积了形状记忆合金膜。用扫描电镜对膜层进行分析显示,形状记忆合金膜与RAINBOW反铁电陶瓷的还原层形成了良好的结合界面。采用划痕法和热循环试验分别对其力学性能和热驱动性能进行测试表明,集成后元件的正向承载强度提高35%,形状记忆合金膜层可以提高元件的驱动能力。
Shape memory alloy films were deposited on the RAINBOW antiferroelectric ceramics by physical vapor deposition. Scanning electron microscopy analysis of the film showed that the shape memory alloy film and RAINBOW antiferroelectric ceramic reduction layer formed a good bonding interface. The scratch resistance and thermal cycling tests were carried out on the mechanical properties and the heat-driven properties respectively. The results show that the forward load-bearing strength of the integrated components is increased by 35%, and the shape memory alloy film can improve the driving ability of the components.
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