【摘 要】
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一、前言为进行准确的真空测量,充为了解被测气体成分是很重要的。气体成分会影响压力测量的准确度,至少表现在下述方面:(1)大多数真空规有随气体成分变化的灵敏度。(2)对于
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一、前言为进行准确的真空测量,充为了解被测气体成分是很重要的。气体成分会影响压力测量的准确度,至少表现在下述方面:(1)大多数真空规有随气体成分变化的灵敏度。(2)对于某些气体和规管来说,由于气体分子离解之类的原因,。测量过程能够改变气体成分。(3)
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