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分析了静电探针的工作原理，探讨了静电探针获得等离子体的伏安特性曲线的测量技术，获得了等离子体的电子温度、密度、空间电位和悬浮电位等重要特性参数。
等离子体特性的静电探针测量技术
【摘 要】
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分析了静电探针的工作原理，探讨了静电探针获得等离子体的伏安特性曲线的测量技术，获得了等离子体的电子温度、密度、空间电位和悬浮电位等重要特性参数。
【机 构】
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佛山科学技术学院理学院
【出 处】
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佛山科学技术学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2000年3期
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