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综述了近来金刚石和类金刚石薄膜电子场发射性能的研究进展，金刚石薄膜是出色的场发射材料，由于其很低的或者是负的电子亲和势（导带能级粒于真空能级之上）和良好的化学稳定性，在真空微电子和场发射显示领域具有广阔的应用前景。
金刚石薄膜电子场发射研究进展
【摘 要】
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综述了近来金刚石和类金刚石薄膜电子场发射性能的研究进展，金刚石薄膜是出色的场发射材料，由于其很低的或者是负的电子亲和势（导带能级粒于真空能级之上）和良好的化学稳定性，在真
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所离子束开放实验室,华东师范大学电子科学技术系
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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1998年6期
【基金项目】
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国家863计划支持项目
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