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作为换电电容的电极材料，铂是使用最为广泛的金属。在ＰＺＴ薄膜的上下两层分别用离子束溅射演积厚度为５０ｎｍ和１００ｎｍ的Ｐｔ。在铂层上按常规工艺需蒸发１～２μｍ的Ａｌ作为布线金属。为避免在热处理过程中的固相反应，Ａｌ／Ｐｔ之间还需嵌放阻挡金属。观察了Ｓｉ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｔｉ和Ｔｉ／Ｗ合金膜的阻挡特性。实验证明一定级分的Ｔｉ／Ｗ合金膜能有效地抑制Ａｌ／Ｐｔ固相反应，获得较为理想的接触特性。