高频等离子体中生长碳膜初探

来源 :碳素 | 被引量 : 0次 | 上传用户：seayi

【摘要】

：

我们已经在高频等离子体中生长出C—膜,硬度约为兰宝石的2.5倍;并提出了活性离子碰撞形成C—膜的机制。 We have grown in high-frequency plasma C-film, hardness of abou

【作者】

：

肖觉民陈本敬杨巧勤黄正中

【机构】

：

湖南大学,湖南大学,湖南大学,湖南大学

【出处】

：

碳素

【发表日期】

：

1986年01期

【关键词】

：

等离子体碳膜兰宝石沉积法高频电场硬度类金刚石薄膜显微硬度金刚石薄膜硬度

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我们已经在高频等离子体中生长出C—膜,硬度约为兰宝石的2.5倍;并提出了活性离子碰撞形成C—膜的机制。 We have grown in high-frequency plasma C-film, hardness of about 2.5 times the sapphire; and proposed the formation of C-reactive ion collision mechanism.

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