【摘 要】
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由于传感器是测试系统的基本环节,它直接影响到各类测量仪器的发展,因此,国外对传感器的研制发展很快。人们不但从传感器的工艺上加以完善提高,而且从性能、体积、功能、成
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由于传感器是测试系统的基本环节,它直接影响到各类测量仪器的发展,因此,国外对传感器的研制发展很快。人们不但从传感器的工艺上加以完善提高,而且从性能、体积、功能、成本上取得可喜成果。特别是集成电路工艺的发展,使传感器在物理结构上能把敏感元件与后随测
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