【摘 要】
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把双极型晶体管和CMOS器件制作在同一芯片上的Bi—CMOS技术越来越引人注目.本文介绍了一种Bi-CMOS兼容集成技术的器件结构设计、工艺制作和实验结果.该技术已用于一种多功能
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把双极型晶体管和CMOS器件制作在同一芯片上的Bi—CMOS技术越来越引人注目.本文介绍了一种Bi-CMOS兼容集成技术的器件结构设计、工艺制作和实验结果.该技术已用于一种多功能程控集成闪光电路.
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