改进的低压LEC法生长半绝缘GaAs单晶

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liu_da_shi
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本文提出了改进的低压LEC/PBN法获得稳定的熔体化学计量比的条件,研究了晶体的电学性质、位错密度、C含量及EL2浓度等特性,并考察了高温热处理对晶体特性的影响. In this paper, the conditions for obtaining stable stoichiometry of the melt by the low pressure LEC / PBN method are proposed. The properties of the crystal such as electrical properties, dislocation density, C content and EL2 concentration are studied. The effect of high temperature heat treatment on the crystal properties is also investigated .
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