【摘 要】
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针对某型CCD图像传感器划片过程中产生的静电损伤、崩边等缺陷造成器件失效,通过优化划片工艺条件,避免了静电损伤,减少了崩边缺陷,封装的成品率由48%提高至96%。
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针对某型CCD图像传感器划片过程中产生的静电损伤、崩边等缺陷造成器件失效,通过优化划片工艺条件,避免了静电损伤,减少了崩边缺陷,封装的成品率由48%提高至96%。
Aiming at the damage of some CCD image sensor during the dicing process, such as electrostatic damage and edge collapse, the devices failed. By optimizing the dicing process conditions, the electrostatic damage was avoided and the edge defects were reduced. The encapsulation yield increased from 48% to 96%.
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