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本文介绍了LB膜的发展历史和现状,简介了LB膜在光、电器件以及在集成器件中的应用。对LB膜的制备方法和与LB膜特性有关的结构做了阐述。
将LB薄膜应用于集成器件中
【摘 要】
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本文介绍了LB膜的发展历史和现状,简介了LB膜在光、电器件以及在集成器件中的应用。对LB膜的制备方法和与LB膜特性有关的结构做了阐述。
【机 构】
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北京大学无线电电子学系,中国科学院北京真空物理实验室,中国科学院北京真空物理实验室
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1990年4期
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