【摘 要】
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上海复旦大学光科学与工程系采用电子束辅助热灯丝化学气相沉积法、二步法高密度成核金刚石优化生长工艺、多光束干涉薄膜厚度监控工艺，制备出高质量低吸收具有光学镜面级表面
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上海复旦大学光科学与工程系采用电子束辅助热灯丝化学气相沉积法、二步法高密度成核金刚石优化生长工艺、多光束干涉薄膜厚度监控工艺，制备出高质量低吸收具有光学镜面级表面的金刚石红外增透滤光保护膜，具有良好的光学透过性和优良的物理化学性质。该成果总体达到国际先进
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