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MEMS机构具有体积小、批量生产、成本低等优点,非常适合引信的发展要求,但其可靠性问题限制了其应用且目前还没有标准化的可靠性试验方法。针对此现状,提出了将强化试验方法引入引信MEMS机构的可靠性研究。确定了可靠性强化试验的内容为温度循环、随机振动和冲击试验,分别参照GJB548B、GJB573A等国家军用标准设计了试验剖面。MEMS惯性开关试验结果表明:所设计的可靠性强化试验方法能够快速有效地激发惯性开关的潜在缺陷,暴露其薄弱环节,对下一步的改进工作具有指导意义。