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本文主要以电子显微镜为手段研究了离子注入形成的ＦｅＳｉ２薄膜的微观结构，发现一种新的ＦｅＳｉ２相，这种相的晶格参数与已知的β－ＦｅＳｉ２相相似，但是它的点群和空间群分别为ｍｍｍ和Ｐｂｃａ。
离子注入法（IBS）合成新FeSi2相的显微结构研究
【摘 要】
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本文主要以电子显微镜为手段研究了离子注入形成的ＦｅＳｉ２薄膜的微观结构，发现一种新的ＦｅＳｉ２相，这种相的晶格参数与已知的β－ＦｅＳｉ２相相似，但是它的点群和空间群分别为ｍｍｍ和Ｐｂｃａ。
【机 构】
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中国科学院北京电镜实验室,三束材料改性国家重点联合实验室,IMEC
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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1997年2期
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