【摘 要】
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真空镀膜技术，目前在国内已经广泛地应用，但是，真空镀膜设备存在着气密性差 的问题。本文论述了真空镀膜设备气密性的特点、氦质谱仪检漏特点及其检漏系统，说 明氦质谱仪检漏是检
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真空镀膜技术，目前在国内已经广泛地应用，但是，真空镀膜设备存在着气密性差 的问题。本文论述了真空镀膜设备气密性的特点、氦质谱仪检漏特点及其检漏系统，说 明氦质谱仪检漏是检查真空镀膜设备漏气的最有效的方法。文中还介绍了一检漏实例。
Vacuum coating technology, is currently widely used in China, however, vacuum coating equipment there is a problem of poor air tightness. This paper discusses the characteristics of air-tight vacuum coating equipment, helium mass spectrometer leak detection system and its leak detection system, leak detection of helium mass spectrometer is the most effective way to check the vacuum coating equipment leakage. The article also introduced a leak example.
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