三点法EST测量直线度的误差分析

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叙述了三点法误差分离技术测量回转体素线直线度误差的原理,分析了参数选择、测头间距误差、传感器标定误差、工作安装误差对测量误差的影响,探讨了对信号谐波和测量噪声的抑制措施,以提高直线误差的测量准确度。
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