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改变衬底(100)面向[011]方向倾斜的角度α,可以得到不同的波导结构。
改变衬底表面的晶向对非平面LPE生长结构的影响
【摘 要】
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改变衬底(100)面向[011]方向倾斜的角度α,可以得到不同的波导结构。
【机 构】
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长春光学精密机械学院,长春光学精密机械学院
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1989年2期
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