用X射线衍射的驻转法测量半导体单晶片

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用X射线衍射仪进行多晶分析和粉末样品分析是很方便和精确的,但是对于单晶样品的分析则有困难,因为分析单晶样品要用四圆X射线衍射仪,而目前国内尚无这种商品.为了充分发挥多晶衍射仪的使用效率,做到一机二用,可以运用衍射驻转法对仪器稍加改装.为此,我们设计和试验了简易的单 It is convenient and accurate to carry out the polycrystalline analysis and the powder sample analysis by the X-ray diffractometer. However, it is difficult to analyze the single crystal sample because the single crystal sample is analyzed by the four-circle X-ray diffractometer. At present, In order to give full play to the efficiency of the use of polycrystalline diffractometer, so that it can be used in one machine, you can use the diffraction method to modify the instrument a little .To this end, we designed and tested a simple single
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