【摘 要】
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引言随着超大规模集成电路的飞速发展,制版问题越来越为人们所重视。在超大规模集成电路诸多工艺中,首先引进计算机辅助设计和计算机辅助制版,从而大大地促进了集成电路的迅
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引言随着超大规模集成电路的飞速发展,制版问题越来越为人们所重视。在超大规模集成电路诸多工艺中,首先引进计算机辅助设计和计算机辅助制版,从而大大地促进了集成电路的迅速发展。大规模集成电路中,制版起着决定性的因素。在集成电路诸多专用设备中,制版的专用设备不断更新换代,其目的就是想方设法解决集成电路的制版问题。
INTRODUCTION With the rapid development of VLSI, more and more attention has been paid to platemaking. Among the many processes of very large scale integrated circuits, the introduction of computer-aided design and computer-aided stencils first greatly accelerated the rapid development of integrated circuits. Large-scale integrated circuits, plate making plays a decisive factor. In a large number of integrated circuits dedicated equipment, plate-making special equipment constantly updated, its purpose is to find ways to solve the problem of plate-making integrated circuits.
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