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采用TFA-MOD方法在单晶片SrTiO3和涂有不同缓冲层的NiW基底(NiW/LZO/CeO2和NiW/Y2O3/YSZ/CeO2)上制备了性能良好的REBa2Cu3O7-δ(REBCO，RE=Y,Ho etc.)单元及两元混合超导薄膜，其中Y1-xHoxBa2Cu3O7-x的超导转变温度(Tc)和面内外取向不随Ho离子的掺杂而降低。通过降低氧含量，把成相温度降低到780℃。在低氧含量(100μg/g)下,采用3～4 h的低温热处理过程和低加温速度(3℃/rain)，获得高性能的REBCO薄膜(Jc>3.65 MA/cm2)。通过x射线衍射(XRD)和聚焦离子束显微镜(FIB)分析研究了缓冲层CeO2与超导层之间的界面反应和性质。CeO2与超导层之间存在较强的化学反应，而且此反应降低了超导层的织构化。超导层与CeO2之间的化学反应有可能受到缓冲层致密度的影响。