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激光表面熔凝技术可有效降低纳米光波导侧壁粗糙度进而减小光传输的散射损耗。为明确波导侧壁在KrF准分子激光表面熔凝过程的温度场演化规律，考虑材料参数随温度变化和相变潜热的影响，建立了纳米光波导侧壁激光熔凝的二维有限元数值模型，研究了熔池边界的推进行为与不同工艺参数的映射关系。结果表明：熔池形成于波导上表面与迎光侧壁夹角处；激光入射角度一定时，熔池熔深与平均能量密度正相关；熔池形貌受控于激光入射角度，随着入射角度的减小，熔池形貌由单边U形过渡为单边V形最终呈带钝角单边V形。分析表明，较大激光入射角对应的熔池形