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微机械薄膜应力对MEMS器件有较大的影响 ,因此应力测量对于工艺监控和MEMS器件设计是必须的。介绍了微机械薄膜应力的在线测试结构与方法 ,详细分析了各种方法的特点。对于MEMS薄膜应力测试结构设计有一定的参考价值
微机械薄膜应力的在线测试结构
【摘 要】
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微机械薄膜应力对MEMS器件有较大的影响 ,因此应力测量对于工艺监控和MEMS器件设计是必须的。介绍了微机械薄膜应力的在线测试结构与方法 ,详细分析了各种方法的特点。对于MEMS薄膜应力测试结构设计有一定的参考价值
【机 构】
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东南大学微电子中心MEMS教育部重点实验室
【出 处】
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测控技术
【发表日期】
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2002年07期
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