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阐述一种利用双通迈克尔逊干涉仪得到的白光条纹测量薄膜厚度的方法。这种方法适合测量15nm到2500nm范围内的厚度。
用白光条纹测量膜厚
【摘 要】
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阐述一种利用双通迈克尔逊干涉仪得到的白光条纹测量薄膜厚度的方法。这种方法适合测量15nm到2500nm范围内的厚度。
【出 处】
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应用光学
【发表日期】
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1990年3期
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