论文部分内容阅读
以多体系统运动学误差分析理论为基础,根据超精密金刚石车床Nanoform200的＂T＂型结构布局和误差分布情况,推导出了包含各项几何误差的超精密车床相对运动约束方程;求解此方程就可以得到补偿几何误差后修正的数控代码值。在此基础上,开发了针对光学器件加工的超精密车床的误差补偿软件。通过实际切削实验表明,该补偿技术能使光学器件的超精密车削加工的轮廓精度提高50%。