多晶硅薄膜太阳能电池硅基复合陶瓷衬底的设计与制备

• 作 者: 李海峰 黄勇 万之坚 张厚兴 张立明 许颖 王文静
• 机 构: 清华大学深圳研究生院,深圳,510855;清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京,100084
• 出 处: 第十三届全国高技术陶瓷学术年会
• 发表日期: 2004年4期
• 关键词: 陶瓷衬底 复合陶瓷设计 薄膜电池 制备工艺 薄膜太阳能电池

　　本文采用复合陶瓷设计的概念,设计多晶硅薄膜太阳能电池用Si,SiC,C的复合陶瓷衬底.在气氛保护烧结炉中烧成,得到的复合陶瓷衬底和Si具有较好的热力学和晶体学匹配性,可以有效的避免在RTCVD工艺下高温沉积和冷却过程中出现的开裂现象,并能得到质量较好的多晶硅薄膜.同时,通过恰当设计Si,SiC和C各组分间的比例,还可以制备具有良好导电性能的陶瓷衬底,这对陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池的制备也有重要的意义.