【摘 要】
：
钨硅薄膜具有电阻率低、热稳定性强及抗化学腐蚀性能优异等特点,是半导体集成电路重要的构成部分,主要作为栅极接触层、扩散阻挡层或者黏附层等来进行使用。本文归纳了半导体
【机 构】
：
厦门大学电子科学与技术学院,厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院,厦门虹鹭钨钼工业有限公司
【基金项目】
：
国家重点研发计划项目(2017YFB0305603)
论文部分内容阅读
钨硅薄膜具有电阻率低、热稳定性强及抗化学腐蚀性能优异等特点,是半导体集成电路重要的构成部分,主要作为栅极接触层、扩散阻挡层或者黏附层等来进行使用。本文归纳了半导体用钨硅薄膜的制备技术及应用方面的研究进展,首先分别对物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)制备钨硅薄膜的方法进行介绍,并分析了各种制备工艺的优缺点,并进一步对钨硅薄膜在半导体中的主要应用场景进行了介绍。最后分析了钨硅薄膜的未来发展前景,认为随着半导体产业的不断发展及钨硅薄膜应用的持续拓宽,钨硅薄膜的重要性将会进一步显现,钨硅薄膜的制备技术
其他文献
磁流变制动器作为一种新型的半主动制动器,目前已被广泛应用于各种制动场合。文章中阐述了磁流变制动器的基本工作原理,且针对磁流变制动器的单位体积可传递制动转矩较小和工
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
围手术期足量蛋白质供给对患者的预后十分重要,蛋白质摄入不足会导致机体瘦组织群丢失,损害生理功能,在提供足够能量的前提下,适当的氮补充可起到纠正负氮平衡、修复损伤的组
原《合同法》和《民法典》都没有较好地应对非根本违约情形下的出版合同解除问题。既有的解除规则主要针对买卖等简单合同而设计,忽略了出版合同的特殊需求。出版合同属于继
学习兴趣是构成学习动机最活泼的心理成分,是学习动力最重要的源泉,同时是成功的良好开端。因此,激发兴趣、提高兴趣、保持兴趣是教学成败的关键,是教师不断探索和研究的课题
根据等效缩比原则,设计了某舰船舱室的1:8等效缩比模型,进行双点装药同步内爆炸试验,对比分析了双点装药同步内爆炸和单点装药内爆炸的爆炸效应特征,研究了这两种爆炸对缩比