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电子探针是一种能较准确定量的微区域成分分析手段．因此，定量分析方法的研究一直是电子探针学术界的主要研究课题．该文概述了６０年代至今的各种定量修正方法，着重对深度分布函数Ψ（ｐｚ）的研究进展作了介绍．目前的研究重点是超轻元素及特殊几何条件试样的定量分析方法．已取得一定进展，也有一些问题需要解决．
电子探针定量分析进展
【摘 要】
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电子探针是一种能较准确定量的微区域成分分析手段．因此，定量分析方法的研究一直是电子探针学术界的主要研究课题．该文概述了６０年代至今的各种定量修正方法，着重对深度分布函数Ψ（ｐｚ）的
【机 构】
：
中国科学院金属研究所沈阳110015
【出 处】
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物理
【发表日期】
：
1993年6期
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