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在过去的半个多世纪中，已有许多表面分析技术问世．它们在金属和半导体表面结构的研究中起着重要的作用，８０年代发展起来的扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）是又一新型、先进的表面分析技术，它能在多种实验环境（真空、大气、溶液、低温等）下实时观察导体和半导体表面的实空间几何结构和电子结构，弥补了其他表面分析技术存在的某些不足，受到了表面科学界的极大重视．有关ＳＴＭ的基本原理，本刊已有多篇综述文章［１－４］，本文主要介绍ＳＴＭ在金属和半导体表面结构研究方面的一些实例。