【摘 要】
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本文报道了铜互联体布线在交流电作用下产生的一种新的热疲劳失效行为,通过透射电子显微镜对热疲劳损伤部位的研究,并与纯机械疲劳载荷作用下的铜薄膜损伤行为进行比较,分析
【机 构】
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中国科学院金属研究所 沈阳材料科学国家(联合)实验室,Max-Planck-Institut für Metallforschung,Heisenbergstr,School of Materials
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本文报道了铜互联体布线在交流电作用下产生的一种新的热疲劳失效行为,通过透射电子显微镜对热疲劳损伤部位的研究,并与纯机械疲劳载荷作用下的铜薄膜损伤行为进行比较,分析了铜互联体热疲劳损伤失效机理。
In this paper, we report a new thermal fatigue failure behavior of copper interconnect wiring under alternating current. The study of thermal fatigue damage by transmission electron microscopy and comparison with the damage behavior of copper thin film under purely mechanical fatigue loading, The failure mechanism of copper interconnect thermal fatigue damage was analyzed.
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