【摘 要】
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本文用氢气、丙酮作为气体源，用微波等离子体化学气相沉积方法，在ＣＢＮ单晶的（１１１）晶面及单晶硅的（１００）晶面上进行了金刚石薄膜异质外延生长的研究。用ＳＥＭ、ＭＬＲ和Ｘ—ｒａｙ衍射方法对试验结果进行了观察、分
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本文用氢气、丙酮作为气体源，用微波等离子体化学气相沉积方法，在ＣＢＮ单晶的（１１１）晶面及单晶硅的（１００）晶面上进行了金刚石薄膜异质外延生长的研究。用ＳＥＭ、ＭＬＲ和Ｘ—ｒａｙ衍射方法对试验结果进行了观察、分析。通过实验发现，在ＣＢＮ单晶的（１１１）晶面及单晶硅的（１００）晶面上直接实现金刚石薄膜的异质外延生是不太可能的。
In this paper, hydrogen and acetone were used as the gas source to study the heteroepitaxial growth of diamond thin films on (111) crystal plane and (100) crystal plane of single crystal silicon by microwave plasma chemical vapor deposition. The experimental results were observed and analyzed by SEM, MLR and X-ray diffraction. It is found through experiments that it is not possible to realize the heteroepitaxial growth of the diamond film directly on the (111) crystal plane of the CBN single crystal and the (100) crystal plane of the single crystal silicon.
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