【摘 要】
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根据热传导真空计原理,利用半导体的感温特性制成一种新的测量真空度的半导体传感器真空规管,并将它作为测量电桥的一臂对该规管的真空性能进行了试验。结果表明,此种新型规
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根据热传导真空计原理,利用半导体的感温特性制成一种新的测量真空度的半导体传感器真空规管,并将它作为测量电桥的一臂对该规管的真空性能进行了试验。结果表明,此种新型规管在760～10~(-5)托压强变化范围内有较高的灵敏度,可望作为测量从粗真空到高真空宽量程的真空规管。
According to the principle of heat conduction vacuum gauge, a new vacuum gauge of semiconductor sensor for measuring the vacuum degree was made by using the temperature sensing characteristic of the semiconductor, and the vacuum performance of the gauge was tested as one arm of the measuring bridge. The results show that this new type of control has higher sensitivity in the pressure range of 760 ~ 10 ~ (-5) Torr, which is expected to be used as a vacuum gauge to measure the wide range from rough to high vacuum.
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