【摘 要】
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本文采用热灯丝CVD法进行合成金刚石单晶的实验研究,以丙酮有机化合物为碳源,使液态丙酮气化的氢气作为反应气体,灯丝加热至2000—2300℃,当用金刚石单晶作衬底时,可外延生
【机 构】
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上海交通大学,上海交通大学,上海交通大学 上海,200030,上海,200030,上海,200030
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本文采用热灯丝CVD法进行合成金刚石单晶的实验研究,以丙酮有机化合物为碳源,使液态丙酮气化的氢气作为反应气体,灯丝加热至2000—2300℃,当用金刚石单晶作衬底时,可外延生长。实验在高温高压法生长的尺寸为14μm无规则外形的金刚石微粒上生长。跟踪几个金刚石颗粒进行观察,用扫描电镜拍摄所跟踪金刚石颗粒的形貌,研究其变化规律,获
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