【摘 要】
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2011年国际光学工程学会先进光刻技术会议于2月27日—3月3日在美国硅谷城市圣何塞市(San Jose)召开.来自中国、日本、韩国、比利时、英国、法国、新加坡、澳大利亚、德国、美
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2011年国际光学工程学会先进光刻技术会议于2月27日—3月3日在美国硅谷城市圣何塞市(San Jose)召开.来自中国、日本、韩国、比利时、英国、法国、新加坡、澳大利亚、德国、美国、印度、以色列、香港、台湾等21国家和地区近1400名专家学者和研发人员参加了本次会议.
The International Society for Optical Engineering (ICE) Advanced Photolithography Conference 2011 was held in San Jose, Silicon Valley, USA, from February 27 to March 3. Participants from China, Japan, South Korea, Belgium, the United Kingdom, France, Singapore, Australia, Nearly 1,400 experts and researchers from 21 countries and regions including Germany, the United States, India, Israel, Hong Kong and Taiwan attended the conference.
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