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着重论述贝尔实验室关于半导体材料研究与工艺开发的历史过程，这包括锗和硅的制备，Ⅲ－Ｖ族半导体化合物，区域纯化法和区域致匀性，以及外延，掺杂和掩蔽工艺等。
贝尔实验室半导体材料的研究
【摘 要】
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着重论述贝尔实验室关于半导体材料研究与工艺开发的历史过程，这包括锗和硅的制备，Ⅲ－Ｖ族半导体化合物，区域纯化法和区域致匀性，以及外延，掺杂和掩蔽工艺等。
【机 构】
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首都师范大学学报,首都师范大学物理系
【出 处】
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首都师范大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1999年2期
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