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一、引言显示面积大并具有多个灰度级的有源矩阵TFT—LCDs已得到广泛地发展。我们制做了10英寸对角线16个灰度级(4096种颜色)的a—Si TFT—LCDs,矩阵分辨率高达480(V)×640×33(H)个象素。由于a—Si TFT矩阵的制备技术是实现高性能TFT—LCDs的重要因素之一,本文主要介绍一种制备a—Si TFT矩阵的新技